压力ξ传感器是工业实践、仪器︽仪表控制中最为常用的一种传感器,并广泛应用于各种工业自控环境,涉及水利水电、铁路交通、生产自控、航空航天、军工、石化、油井、电力、船舶、机床、管道等众多行业。而传感器技术是现代测量和自动化系统的重要技术之一,在各类传感「器中压力传感器具有重量轻、成本低的优点,可广泛用于压力、高度、加速度、液体的流量、流速、液位、压强的测量与控制等方╲面。
压力传感器的种类繁多,如电ζ 阻应变片压力传感器、半导体应变片压力传感器、压阻式压力传感器、电感式压力传感器、电容式压力传感器、谐振式压力传感器及电容式加速度传感器等。而压力传感器主要的两种种类是硅压阻式①压力传感器和电阻应变式压力传感器。前者主要用于航空、航天,大型贮液罐的液位,海洋的〓水深,气体管道的流∴量、人体血压及〖时吸压等领域。后者主要应用于轨道衡,电⌒ 子汽车秤、电子天平秤、电子体重秤和商业计价秤等领域。
但应用最为广泛的是压ω阻式压力传感器,它具有极低的价格和较高的精度以及较好的线性特性。这种传感器采用集成工♂艺将电阻条集成在单晶硅膜片上,制成硅ㄨ压阻芯片,并将此芯片的周边固定封装于外壳】之内,引出电极引线。
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