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微压差变送器检测洁净实验室压差的方法

发布时间： 2020/9/7 13:44:46  点击：

洁净室压差检测的目的是为了验证完工设施与周围环境之间、设施内各空间之间保持规定压差的能力。这项检测适用于空态、静态、动态的洁净室的占用状态，工程完工后需要定期进行压差检测。那么洁净室工程设计、规划、安装竣工之后，洁净室的压差如何根据设计方案来设定呢？如何能检测出洁净室的压力是多少pa呢？有什么科学的检测方法？力夫自控教你使用LFM微压差变送器（微压差传感器）的检测方法。

一、无尘车间工程中压力测试方法有哪些呢？

1、无尘车间-对-无尘车间

2、无尘车间-对-公共参考点

需要记录大量压差的大◥型制药厂通常采用公共参考点方法，由此使微压差传感器的数目实现最小化，同时尽最大程度减小多个读数合计时所产生的复↑合误差。用管路将压降变送器（通常是 ;高 ;侧）的一个端口连接到被监控的洁净室，而另一侧（通常是 ;低 ;侧）则用管路连接到位于不受室外风影响的压力稳定部位的公共参考点（或通过集流管连接到压力稳定的部位）。理想压力参考点的位置应有较大的容积，开口较少，相对于室外而言无压力变化或者变化速度缓慢。

二、无尘车间工程中静压差的测定要求：

1、静压差的测定是洁净厂房内所有的门全关闭状态下进行的。

2、应从洁净度高到洁净度低的房间顺序进行，一直到直通室外的房间。

3、测管口设置在室内不受气流干扰的地方。

4、所测数据应精确到 1.0Pa。

三、无尘车▃间工程中静压差的测定步骤：

1、是将洁净区内所有的门全处于关闭状态下。

2、用微压差计测量洁净室之间，洁净室和走廊之∞间， 走廊与外界之间的压差。

3、记录在案

4、静压差测定用的仪器：静压差测定一般采用的仪器为LEFOO力夫LFM型微压差变送器，倾斜式压力计，精密指针式压力计或灵敏度小于 1.0Pa 的其它压力计。

四、合格标准：

1、不同级别的洁净室工程（区）与非洁净室洁净室（区）之间的静压差应不小于5Pa。风淋室是指控制产品 (如硅芯片等) 所接触大气的洁净度及温湿度，使产品能在一个良好的环境空间中生产、制造。此环境空间的设计施工过程即可称为净化工程。

2、洁净室工程（区）与室外的静压差应ζ不小于 10Pa。层流罩目前级别最高的当属航天航空的航空仓，基本是属于1级，属于特殊领域，面积相对较小。另外对级别要求较高的是生化实验室和高精纳米材料生产车间，物联网芯片的发展将是未来需求的一大方向。

3、对于洁净度等级严的单相流洁净室在开门时，门内 0.6m 处室内工作面的含尘浓度应不大于相应级别的含尘浓度限」值。

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